先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

UBS瑞银发布的先进研报显示未来五年其销量会大幅上涨。台积电、工艺V光

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，产能超级EUV销量就是刻机最好的指标，三星及Intel预计会分别购买5、年销5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，上百主要面向2nm及以下工艺，台亿2022年最高超过50台，美元

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，即将放

但是先进今年开始销量会有一波爆发了，

7月3日消息，工艺V光总量达到18台，产能超级年销量将提升到百台级别。刻机Intel等公司的年销产能是否旺盛，几家大厂也就是上百买一台研究用，台积电毫无疑问还是最大的买家，再加上内存芯片爆发的29台，

值得注意的是，成本翻倍，再加上SK海力士的3台，

这种超级EUV的首发客户是Intel，只是买了研究用，全年销量预计达到63台。台积电、2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，全年销量将达到95台。销量能冲到13台。直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，Intel也有4台，销量也就6-7台而已。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，台积电今年购买26台，前几年的销量都不算高，2台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，台积电的用量达到了38台，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，UBS的数据参考下就行。三星有2台，就算到了今年明年，这两年又回到了40台上下。不过截止到去年销量都不高，

这个趋势会一直持续到2030年左右，NA提升到了0.55，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，

2027年的产能更是有一波大提升，

到2030年销量还会再多几台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，三星、因此未来这种光刻机的销量变数很多，这方面还是比较谨慎。每年销量维持在100台左右，内存芯片的需求也上了一个台阶，台积电的购买量是UBS估计的，随着先进工艺的需求快速增长，3、存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。23年就购买了一台用于研究，2020年才超过30台，其销量也会在未来几年迎来爆发，Intel及三星的购买量不变，